講演情報
[10p-E311-10]境界電荷法によるファセット電子源傾斜時の収差特性計算
〇下薗 幹太1、早田 康成1、村田 英一2 (1.筑波大数理、2.名城大理工)
キーワード：
収差、電子源、収差係数
名城大学の村田英一教授が考案した境界電荷法を用いて、ファセット電子源が光軸に対し傾斜角をもった電子銃での電子軌道を計算し、最適化により球面収差やコマ収差、非点収差などの収差係数を算出した。特に、球面収差についてはレンズ領域が2箇所あると仮定して各々の収差係数を決定した。また、先行研究の対象であった球面電子源に対しても同様の手法を用いて収差係数を決定した。