[10p-N101-1~17] CS.8 Code-sharing session of 6.2 &KS1

2:00 PM - 2:15 PM JST(5:00 AM - 5:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[10p-N101-2] Formation of high-density nitrogen delta-doping diamond layer and spin characterizations via point-arc microwave chemical vapor deposition method

〇Shota Kikumoto^1,2, Kazuki Abe², Itsuki Misono², Naragino Hiroshi², Yoshitake Tsuyoshi², Kosuke Kimura³, Onoda Shinobu³, Kageura Taisuke¹ (1.AIST, 2.IGSES, Kyushu Univ., 3.QST)

Keywords:

diamond,NV center,microwave plasma chemical vapor deposition

ダイヤモンドNV中心を用いた量子センシングでは、表面近傍への極薄・高密度な窒素δドープ層の形成が課題である。本講演では、独自の尖端放電型マイクロ波プラズマ化学気相成長法を用い、低速成長条件を活用して極薄の窒素δドープ層を形成した結果を報告する。共焦点顕微鏡によりNV層の形成を確認し、ODMR測定で室温スピン制御を実証した。感度と空間分解能の両立に向けた基盤技術として位置づけられる。