講演情報
[10p-N101-2]尖端放電型マイクロ波プラズマ化学気相成長法による高密度窒素δドープダイヤモンド層の形成とスピン特性評価
〇菊本 翔太1,2、阿部 一輝2、御園 樹2、楢木野 宏2、吉武 剛2、木村 晃介3、小野田 忍3、蔭浦 泰資1 (1.産総研、2.九大院総理工、3.量研機構)
キーワード：
ダイヤモンド、NVセンター、マイクロ波プラズマ化学気相成長
ダイヤモンドNV中心を用いた量子センシングでは、表面近傍への極薄・高密度な窒素δドープ層の形成が課題である。本講演では、独自の尖端放電型マイクロ波プラズマ化学気相成長法を用い、低速成長条件を活用して極薄の窒素δドープ層を形成した結果を報告する。共焦点顕微鏡によりNV層の形成を確認し、ODMR測定で室温スピン制御を実証した。感度と空間分解能の両立に向けた基盤技術として位置づけられる。