Presentation Information
[10p-N101-8]Growth and Luminescence Properties of Silicon and Phosphorus Co-doped Polycrystalline CVD Diamond Films
〇Yuki Katamune1, Yuka Horita1, Satoshi Inoshita1, Sora Okuno1, Akira Izumi1 (1.Kyutech)
Keywords:
diamond,phosphorus doping,photoluminescence
本研究は，量子デバイス応用に向けて，熱フィラメントCVD法によるシリコン・リン共添加多結晶ダイヤモンド膜の作製とSiV⁻センタの発光特性制御を目的とした．固体Si源とトリメチルホスフィンを用いて成膜してPL測定を行った結果，738 nmにSiV⁻発光を確認した．また気相中のリン濃度の増加に伴い発光強度が増大し，リンのドナー効果による電子供与が負電荷状態のSiV⁻センタ形成を促進することが示唆された．