[10p-PA1-1~12] 3.6 Laser processing

[10p-PA1-4] Photochemical Transparency of Amorphous Carbon Thin Films Using F₂ Laser (3)

〇(M2)Van Do Le¹, Masayuki Okoshi¹ (1.NDA)

Keywords:

F2 laser,amorphous carbon,photochemical transparency

波長157 nmのF₂レーザーを、アモルファス炭素（a-C）薄膜表面に大気中で照射することにより、薄膜中のsp³炭素とsp²炭素の比を変化させ、その結果レーザー照射領域が光化学的に透明化する現象をこれまで見出してきた。今回は、a-C薄膜の膜厚方向全てを光化学的透明化領域になるよう実験条件を選択し、膜中のsp³炭素とsp²炭素の比をX線光電子分光およびラマン分光分析により定量的に調べた。