[10p-PA1-1~12] 3.6 レーザープロセシング

[10p-PA1-4] F₂レーザーによるアモルファス炭素薄膜の光化学的透明化(3)

〇(M2)レ バン　ドー¹、大越 昌幸¹ (1.防衛大電気電子)

キーワード：

F₂レーザー、アモルファス炭素、光化学的透明化

波長157 nmのF₂レーザーを、アモルファス炭素（a-C）薄膜表面に大気中で照射することにより、薄膜中のsp³炭素とsp²炭素の比を変化させ、その結果レーザー照射領域が光化学的に透明化する現象をこれまで見出してきた。今回は、a-C薄膜の膜厚方向全てを光化学的透明化領域になるよう実験条件を選択し、膜中のsp³炭素とsp²炭素の比をX線光電子分光およびラマン分光分析により定量的に調べた。