Presentation Information
[10p-PB1-19]Effect of Oxygen Flow Rate on the Band Gap of CuO Thin Films Exhibiting Adsorption-induced Electrochromic Phenomenon
〇(M1)Kazusa Ozawa1, Yasushi Inoue1, Osamu Takai2 (1.Chiba.Inst.Technol, 2.SSAME)
Keywords:
Electrochromic Phenomenon,Copper-oxide thin films,Optical bandgap
CuO薄膜は吸着誘起型エレクトロクロミック現象による可逆的な透過率変化を示すが，可視光領域での変化が十分ではない．本研究では反応性スパッタ成膜時の酸素流量が CuO 薄膜のバンドギャップ，透過率スペクトルの吸収端位置に及ぼす影響を調査することを目的とした．試料の透過率は酸素流量の増加に伴い，より可視光領域で変化し始めた．試料中の酸素欠陥が減少しバンドギャップ内の欠陥準位による吸収が減少したためと考えられる．