[10p-S5-1~14] 3.12 Semiconductor optical devices

2:30 PM - 2:45 PM JST(5:30 AM - 5:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[10p-S5-5] Polycrystalline Ge-based thin films toward flexible NIR/SWIR device applications

〇Shintaro Maeda^1,2, Akira Ogawa¹, Takashi Suemasu¹, Kaoru Toko¹ (1.Univ. of Tsukuba, 2.JSPS Research Fellow)

Keywords:

Germanium,Thin films,Photodetectors

Geは近赤外域に感度を有するIV族半導体として、太陽電池や光検出器への応用が期待されている。我々はこれまで、ガラスやプラスチックなどの汎用基板上に形成した多結晶Ge系薄膜の高品質合成に取り組んできた。しかし、光電流は依然として小さいため、Sn添加や水素プラズマ処理により、結晶性の改善と低欠陥化を図った。そして、光デバイス用基盤材料としての有用性を実証した。