Presentation Information
[10p-S5-8]Investigation of transfer printing integration assisted by top-side atmospheric plasma treatment
〇(M2)Yuma Soya1, Akihiro Kameyama1, Shuma Ito1, Akinari Fujita1, Takeru Yambe1, Masahiro Kakuda2, Yasuhiko Arakawa2, Yasutomo Ota1 (1.Keio Univ., 2.NanoQuine)
Keywords:
transfer printing,plasma
転写プリント法は高度な異種材料光集積技術として注目されるが、接着性やポストプロセス耐性の検討は十分でない。我々は以前、大気圧プラズマ処理による半導体薄膜の接着改善を報告したが、ピックアップ後の裏面処理はスループット低下が課題であった。今回、ピックアップ前の半導体薄膜へ上方から大気圧プラズマを照射した場合でも接着改善が確認されたため報告する。