[10p-S5-1~14] 3.12 Semiconductor optical devices

3:45 PM - 4:00 PM JST(6:45 AM - 7:00 AM UTC)

[10p-S5-9] Investigation of selective and high-throughput transfer-printing integration of compound semiconductor microfilms

〇Akihiro Kameyama¹, Shuma Ito¹, Akinari Fujita¹, Takeru Yambe¹, Jinkwan Kwoen², Masahiro Kakuda², Yasuhiko Arakawa², Yasutomo Ota¹ (1.Keio Univ., 2.NanoQuine)

Keywords:

transfer printing

異種材料ハイブリッド光集積では、良品を事前選別できる転写プリント法が注目されている。一方、個別選択を伴う転写集積ではリリース工程が律速となるため、転写サイクルの高速化が求められる。本研究では、プラズマ処理によるサンプルとレシーバ基板間の接着力向上を利用し、個別転写の高速化を検討した。その結果、転写条件の最適化により、1転写サイクルを2秒まで短縮した。