[11a-A24-1~13] 3.6 Laser processing

12:15 PM - 12:30 PM JST(3:15 AM - 3:30 AM UTC)

[11a-A24-13] Research on Multi-Color Laser Processing Using Ultrashort Soft X-ray Pulses

〇Thanh Hung Dinh¹, Masayasu Hata¹, Noboru Hasegawa¹, Masahiko Ishino¹, Shinichi Namba², Takeshi Higashiguchi³, Masaharu Nishikino¹ (1.QST-KPSI, 2.Hiroshima Univ., 3.Utsunomiya Univ.)

Keywords:

Multi-color laser procsessing,plasma-based EUV laser,high-intensity laser

近年，EUVからX線領域にわたる極短パルス短波長レーザーの進歩により，モノづくり分野への応用が注目されている．本発表では，軟X線域と可視域のレーザーを組み合わせた「多色照射加工技術」を提案する．本手法は，軟X線による電子励起領域のみを可視光で効率よく除去するため高品質な微細加工が可能となる．この加工技術の可能性と小型光源の開発状況について報告する．