講演情報
[11a-A24-13]極短軟X線パルスを用いた多色照射レーザー加工に関する研究
〇ヂン タンフン1、畑 昌育1、長谷川 登1、石野 雅彦1、難波 槇一2、東口 武史3、錦野 将元1 (1.量研関西研、2.広大先進理工、3.宇大工)
キーワード：
多色照射レーザー加工、プラズマなんX線レーザー、高強度レーザー
近年，EUVからX線領域にわたる極短パルス短波長レーザーの進歩により，モノづくり分野への応用が注目されている．本発表では，軟X線域と可視域のレーザーを組み合わせた「多色照射加工技術」を提案する．本手法は，軟X線による電子励起領域のみを可視光で効率よく除去するため高品質な微細加工が可能となる．この加工技術の可能性と小型光源の開発状況について報告する．