[11a-A24-1~13] 3.6 Laser processing

9:15 AM - 9:30 AM JST(12:15 AM - 12:30 AM UTC)

[11a-A24-2] Methodology development of bevel laser cutting for the black glasses

〇(M2)Ryotaro Nakashima^1,2, Yurina Michine^1,2, Hitoki Yoneda^1,2, Akira Shirakawa^1,2 (1.UEC, 2.ILS, UEC)

Keywords:

Laser processing,Glass,Pulse laser

透明ガラスのレーザーダイシングでは、レーザーによる内部残留応力の形成により傾斜割断が可能である。一方、黒色ガラスはレーザー光の吸収が大きく、透明ガラスのような内部応力制御が困難であるため、傾斜割断の実現には新たな手法が必要となる。本研究では、レーザー照射により発生する圧縮波、内部応力の伝搬方向を制御し、不透明材料に対する新たな傾斜ダイシング手法の結果を報告する。