講演情報
[11a-A24-2]黒色ガラスの斜め割断手法の開発
〇(M2)中島 遼太郎1,2、道根 百合奈1,2、米田 仁紀1,2、白川 晃1,2 (1.電通大、2.電通大レーザー研)
キーワード：
レーザー加工、ガラス、パルスレーザー
透明ガラスのレーザーダイシングでは、レーザーによる内部残留応力の形成により傾斜割断が可能である。一方、黒色ガラスはレーザー光の吸収が大きく、透明ガラスのような内部応力制御が困難であるため、傾斜割断の実現には新たな手法が必要となる。本研究では、レーザー照射により発生する圧縮波、内部応力の伝搬方向を制御し、不透明材料に対する新たな傾斜ダイシング手法の結果を報告する。