[11a-E203-1~10] 1.6 Ultrasonics

11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)

[11a-E203-8] Development of High Overtone Bulk Acoustic Resonator for Timing Devices

〇Yurina Amamoto¹, Koji Terumoto¹, Kenji Goda¹, Noriyuki Shimoji¹, Takashi Naiki¹, Takashi Kimura¹, Ryusei Sogame¹, Yoshiaki Oku¹ (1.ROHM Co., Ltd.)

Keywords:

Piezoelectric Resonator,Q factor

近年の高速通信の発展により、発振器にはより低い位相ノイズが求められている。その対策として、共振子の基本周波数を高周波化し、PLLによる逓倍時のノイズを低減する方法が挙げられる。本研究では、その実現手法としてHBAR（High Overtone Bulk Acoustic Resonator）に着目し、圧電膜にAlN、基板に導電性を有するn型SiCを用いたHBARを評価した。