[11a-E203-1~10] 1.6 超音波

11:00 〜 11:15

[11a-E203-8] タイミングデバイス向け高倍音バルク音響共振子の開発

〇天本 百合奈¹、照元 幸次¹、合田 賢司¹、下地 規之¹、内貴 崇¹、木村 俊¹、十亀 龍星¹、奥 良彰¹ (1.ローム(株))

キーワード：

圧電共振子、Q値

近年の高速通信の発展により、発振器にはより低い位相ノイズが求められている。その対策として、共振子の基本周波数を高周波化し、PLLによる逓倍時のノイズを低減する方法が挙げられる。本研究では、その実現手法としてHBAR（High Overtone Bulk Acoustic Resonator）に着目し、圧電膜にAlN、基板に導電性を有するn型SiCを用いたHBARを評価した。