[11a-E203-1~10] 1.6 Ultrasonics

11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)

[11a-E203-9] Effect of 4H-SiC Substrate Off-Angle on High-Overtone Bulk Acoustic Resonators

〇Ryusei Sogame¹, Koji Terumoto¹, Yurina Amamoto¹, Kenji Goda¹, Noriyuki Shimoji¹, Takashi Naiki¹, Takashi Kimura¹, Yoshiaki Oku¹ (1.ROHM Co., Ltd.)

Keywords:

High overtone bulk acoustic resonator,HBAR,resonator

オフ角4°の4H-SiC基板を用いた高倍音バルク音響共振子（HBAR）において生じる不要共振の発生メカニズムを、時間領域解析により調査した。周波数応答を逆フーリエ変換して解析した結果、基板のオフ角による結晶異方性のため、裏面反射時に縦波の一部が横波へモード変換される。これにより生じる音速の異なる波がHBAR内に混在することで、不要共振の原因であると明らかにした。