Presentation Information
[11a-N302-3]Epitaxial Growth and In-plane Orientation Analysis of Monoclinic CaTaAlO5 Thin Films Deposited on ITO/(100)YSZ Substrates
〇(M2)Yuki Sunaoka1, Shintaro Yasui2, Hiroki Taniguchi3, Yoshitaka Ehara1 (1.NDA, 2.Science Tokyo, 3.Nagoya Univ.)
Keywords:
Sputtering,Titanite
チタン石型酸化物ABMO5は、近年報告された分極‐電場(P-E)曲線のダブルヒステリシスに由来する、優れたエネルギー貯蔵特性から注目されており、我々はこれまでにYSZ基板上にエピタキシャル成長した単斜晶CTA薄膜が得られることを報告した。そこで、本研究では作製した薄膜の詳細な結晶構造解析を実施し、エピタキシャル成長メカニズムの解明と結晶方位依存性および誘電特性に関して評価を行った。
