Presentation Information
[11a-PB3-5]Fabrication and electrical characterization Prototyping and Evaluation of cCapacitors Using Single- Molecule- Electret Thin Film
〇Hiroki Ishii1, Yuki Nakano1, Chisato Kato1, Masaru Fujibayashi2, Sadafumi Nishihara3,4 (1.Materialgate Inc., 2.NIT, Ube College, 3.Graduate School of Advanced Science and Engineering, Hiroshima Univ., 4.CResCent, Hiroshima Univ.)
Keywords:
Ferroelectric,Single-Molecule-Electret,Memory device
単分子誘電体(SME)は単一分子かつ室温において恰も強誘電体のような特性を示すを振る舞う分子である。自発分極を示す超微細メモリ材料として期待されているものの、これまでは厚さ数百µmのペレット状試料を用いた電気特性しか報告されていない。そこで、液相成膜手法により成膜したSME薄膜を用いてキャパシタデバイスを作製し、強誘電体特性評価を行った。