[11a-PB3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[11a-PB3-5] 単分子誘電体の薄膜におけるキャパシタ試作と電気特性評価

〇石井 宏樹¹、中野 佑紀¹、加藤 智佐都¹、藤林 将²、西原 禎文^3,4 (1.株式会社マテリアルゲート、2.宇部高専、3.広島大院先進理工、4.広島大キラル国際研究拠点)

キーワード：

強誘電体、単分子誘電体、メモリデバイス

単分子誘電体(SME)は単一分子かつ室温において恰も強誘電体のような特性を示すを振る舞う分子である。自発分極を示す超微細メモリ材料として期待されているものの、これまでは厚さ数百µmのペレット状試料を用いた電気特性しか報告されていない。そこで、液相成膜手法により成膜したSME薄膜を用いてキャパシタデバイスを作製し、強誘電体特性評価を行った。