[11p-A31-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

4:15 PM - 4:30 PM JST(7:15 AM - 7:30 AM UTC)

[11p-A31-9] Effect of Reduced Electric Field in Synthesis on Stress of Diamond-like Carbon Films

〇Susumu Takabayashi¹, Shinjiro Ono², Kazunori Koga², Keisuke Yamamoto³, Masanori Shinohara⁴ (1.Ariake Kosen, 2.Kyushu Univ., 3.Kumamoto Univ., 4.Fukuoka Univ.)

Keywords:

diamond-like carbon (DLC),stress

光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)は、放電初期電子に光電子を用いていることが特徴である。放電は光電子が放出される紫外光照射部位に限定されるため、電圧と電流を精密に評価できる。今回我々は、PA-PECVDの換算電界を制御してDLCを成膜し、その応力について調べた。雰囲気圧力を変えて換算電界を制御してDLCを成膜したところ、300 Paでは上向きの圧縮応力を示したのに対して、500 Paでは下向きの引張応力を示した。換算電界を制御できるPA-PECVDを用いると、応力方向を制御したDLC膜の作製が可能であることが分かる。