講演情報
[11p-A31-9]ダイヤモンドライクカーボン薄膜の応力への成膜時換算電界の影響
〇鷹林 将1、小野 晋次郎2、古閑 一憲2、山本 圭介3、篠原 正典4 (1.有明高専、2.九大院シス情、3.熊大REISI、4.福大工)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)、応力
光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)は、放電初期電子に光電子を用いていることが特徴である。放電は光電子が放出される紫外光照射部位に限定されるため、電圧と電流を精密に評価できる。今回我々は、PA-PECVDの換算電界を制御してDLCを成膜し、その応力について調べた。雰囲気圧力を変えて換算電界を制御してDLCを成膜したところ、300 Paでは上向きの圧縮応力を示したのに対して、500 Paでは下向きの引張応力を示した。換算電界を制御できるPA-PECVDを用いると、応力方向を制御したDLC膜の作製が可能であることが分かる。