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[11p-E202-3]Investigation of Surface Potential of Patterned Alq3 film for Electret-based Vibration Energy Harvesters

〇(M2)Ryu Kumagai1, Suzaku Kimura2, Syuuma Kawamura2, Yuji Takata1, Takaaki Suzuki1, Yuya Tanaka1 (1.Gunma Univ., 2.Ritsumeikan Univ)

Keywords:

Spontaneous orientation polarization,Electret-based Vibration Energy Harvesters,Self-Assembled Electret

我々は自発配向する極性有機分子とMicro electro mechanical systems(MEMS)技術を利用し,荷電処理不要のエレクトレット型MEMS振動発電素子を開発している.この素子ではエレクトレットがパターン化されるという特徴があり,高出力化に向けた設計指針が確立されていない.そこで本研究では,パターン膜の表面電位を測定するとともに,それを用いたモデル素子を作製し,発生する電流との関係を調べた.