[8a-A13-1~13] 6.3 Oxide electronics

12:15 PM - 12:30 PM JST(3:15 AM - 3:30 AM UTC)

[8a-A13-13] Anomalous Behavior of Contact Resistance in Liquid-Gated Ti/ZnO Junctions

〇Momoka Shimokawa¹, Ryosuke Ishiguro¹ (1.Japan Women's Univ.)

Keywords:

Zinc Oxide,Electric Double-Layer,interface state

金属/ZnO接合における電気二重層トランジスタ（EDLT）の伝送線路法（TLM）測定を行った。EDLT構造では、液体ゲートによって誘起されたキャリアはチャネル表面近傍に局在するため、接触抵抗の変化は小さいと予想される。しかし実際には、ゲート電圧に対して接触抵抗が顕著に変化することを観測した。この結果は、金属電極下に二次元的に広がる界面状態の存在を示唆している。