講演情報
[8a-A13-13]Ti/ZnO接合の液体ゲートによる接触抵抗の特異な挙動
〇下川 桃果1、石黒 亮輔1 (1.日女大院理)
キーワード：
酸化亜鉛、電気二重層、接合界面
金属/ZnO接合における電気二重層トランジスタ（EDLT）の伝送線路法（TLM）測定を行った。EDLT構造では、液体ゲートによって誘起されたキャリアはチャネル表面近傍に局在するため、接触抵抗の変化は小さいと予想される。しかし実際には、ゲート電圧に対して接触抵抗が顕著に変化することを観測した。この結果は、金属電極下に二次元的に広がる界面状態の存在を示唆している。