[8a-A13-1~13] 6.3 Oxide electronics

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8a-A13-5] Fabrication of Anatase Nb:TiO₂ Epitaxial Thin Films with Sinusoidal Depth-Dependent Composition Modulation

〇Ryota Kimura¹, Yuto Abiko¹, Kenichi Kaminaga¹, Shingo Maruyama^1,2, Yuji Matsumoto¹ (1.Tohoku Univ., 2.Shizuoka Univ.)

Keywords:

Thin Films,Oxide electronics,Transparent Conducting Oxides

酸化物薄膜中のキャリア濃度やドーパント分布を空間的に設計することで，均一組成膜や単純なヘテロ膜では得られない特異な電子機能の発現が期待される．本研究では，アナターゼ型NbドープTiO₂エピタキシャル薄膜において，深さ方向組成プロファイルを非線形変調へ拡張し，正弦波型組成変調を有する薄膜を作製した．XRDおよびSIMS評価により，設計したNb分布の実現を確認し，任意関数型の組成変調設計の可能性を示した．