[8a-B11-1~13] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

9:15 AM - 9:30 AM JST(12:15 AM - 12:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8a-B11-2] Structural evaluation and application of Si thick films for lithium-ion battery anodes using very high-frequency plasma under atmospheric pressure

〇Koki Hiromoto¹, Farrel Dzaudan Naufal¹, Koki Enomoto¹, Hiromasa Ohmi¹, Hiroaki Kakiuchi¹ (1.Univ. Osaka)

Keywords:

Atmospheric pressure PECVD,Lithium ion battery,Silicon anode

リチウムイオン電池はポータブル電子機器に広く用いられる二次電池である。この負極材料として高い理論容量を持つSiが注目されているが、充放電時の体積変化に伴う破損が実用化を阻んでいる。そこで、我々は大気圧PECVD法により、微結晶Si層とアモルファスSi層の二層構造Si厚膜を作製し、高い安定性と電気容量を持つ負極材料を開発している。本発表では、作製したSi負極の構造と負極としての動作性能を報告する。