[8a-B11-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[8a-B11-2] 大気圧PECVD法により形成したSi厚膜の構造評価とリチウムイオン電池用負極への応用

〇広本 恒輝¹、Farrel Dzaudan Naufal¹、榎本 光希¹、大参 宏昌¹、垣内 弘章¹ (1.阪大院工)

キーワード：

大気圧PECVD、リチウムイオン電池、シリコン負極

リチウムイオン電池はポータブル電子機器に広く用いられる二次電池である。この負極材料として高い理論容量を持つSiが注目されているが、充放電時の体積変化に伴う破損が実用化を阻んでいる。そこで、我々は大気圧PECVD法により、微結晶Si層とアモルファスSi層の二層構造Si厚膜を作製し、高い安定性と電気容量を持つ負極材料を開発している。本発表では、作製したSi負極の構造と負極としての動作性能を報告する。