[8a-E311-1~4] 8.3 Plasma nanotechnology

11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8a-E311-1] Control of Electrical Transport Properties and Structural Modification of Single-Walled Carbon Nanotube Sheets by Hydrogen Plasma Irradiation

〇Mika Yamasaki¹, Haruna Sakata¹, Naoki Ueoka², Yutaka Matsuo², Hiroki Kondo¹ (1.Kyushu Univ. ISEE, 2.Nagoya Univ.)

Keywords:

Single-Walled Carbon Nanotube,Hydrogen Plasma,Electrical properties

次世代電子材料として注目される単層カーボンナノチューブ(SWCNT)で構成されるSWCNTシートに対し，表面波プラズマ（SWP）による水素ラジカル照射と，容量結合型プラズマ（CCP）による直接照射を実施し，構造変化と電気輸送特性への影響を比較した．SWPではネットワーク形態を維持しつつ欠陥導入によりシート抵抗が2桁以上増大した．CCPではSWCNTの切断・消失が生じた．活性種の種類により反応機構が異なることを明らかにした．