講演情報
[8a-E311-1]水素プラズマ照射による単層カーボンナノチューブシートの構造変化と電気輸送特性の制御
〇山崎 美果1、坂田 遥渚1、上岡 直樹2、松尾 豊2、近藤 博基1 (1.九大シス情、2.名大工)
キーワード：
単層カーボンナノチューブ、水素プラズマ、電気特性
次世代電子材料として注目される単層カーボンナノチューブ(SWCNT)で構成されるSWCNTシートに対し，表面波プラズマ（SWP）による水素ラジカル照射と，容量結合型プラズマ（CCP）による直接照射を実施し，構造変化と電気輸送特性への影響を比較した．SWPではネットワーク形態を維持しつつ欠陥導入によりシート抵抗が2桁以上増大した．CCPではSWCNTの切断・消失が生じた．活性種の種類により反応機構が異なることを明らかにした．