[8a-N102-1~11] 18.3 Measurement Informatics

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8a-N102-4] Transfer Learning for Deep Learning Ellipsometry: Rapid Automated Analysis of
Optical Constants and Thin-Film Structures on Different Substrate Materials

〇Yuki Ikarashi¹, Yuki Yamamoto¹, Ren Iwayama¹, Naoki Kurokawa¹, Akihiro Baba¹, Jiro Nishinaga², Shogo Ishizuka², James Hilfiker³, Hiroyuki Fujiwara¹ (1.Gifu Univ., 2.AIST, 3.J.A. Woollam Co., Inc.)

Keywords:

Transfer learning,Semiconductor,Optical spectral analysis

近年、分光エリプソメトリー測定スペクトルから光学定数や薄膜構造を自動解析する深層学習エリプソメトリーが注目されている。しかし、従来のSi基板モデルは異種基板へ適用できず、基板ごとの再学習には約100時間を要する。本研究では、SiモデルにLoRA転移学習を適用し、Alおよびガラス基板用モデルを構築した。その結果、モデル構築時間を4時間以下、従来比96％短縮し、実材料薄膜でも高精度自動解析を実現した。