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11:30 AM - 11:45 AM JST(2:30 AM - 2:45 AM UTC)

[8a-S2-10]Investigation for High-Efficiency and Broadband Si Photonics 2D Grating Couplers

〇Yuichiro Yamada¹, Naoki Tahara¹, Toshihiko Baba¹ (1.Yokohama Nat'l Univ.)

Keywords:

grating coupler,two-dimensional grating coupler,2D GC

Siフォト受信器用2次元グレーティングカプラ (GC) の高効率・広帯域化に向け，中間膜，Siミラー，2段エッチングの効果をFDTDにより比較検討した．中間膜の導入はピーク効率を向上させ，Siミラーは反射位相変化により帯域を狭幅化させることが分かった．一方，2段GCは単層に比べ高効率かつ広帯域な特性を示した．現在，これらを総合的に組み合わせたデバイスの最適構造パラメータを探索中である．

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