講演情報
[8a-S2-10]Siフォトニクス2次元グレーティングカプラの高効率・広帯域化の検討
〇山田 雄一朗1、田原 直樹1、馬場 俊彦1 (1.横国大院工)
キーワード：
グレーティングカプラ、二次元グレーティングカプラ、2D GC
Siフォト受信器用2次元グレーティングカプラ (GC) の高効率・広帯域化に向け，中間膜，Siミラー，2段エッチングの効果をFDTDにより比較検討した．中間膜の導入はピーク効率を向上させ，Siミラーは反射位相変化により帯域を狭幅化させることが分かった．一方，2段GCは単層に比べ高効率かつ広帯域な特性を示した．現在，これらを総合的に組み合わせたデバイスの最適構造パラメータを探索中である．