[8p-C309-1~16] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

3:15 PM - 3:30 PM JST(6:15 AM - 6:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8p-C309-6] Fabrication of Nanometer-Scale Accuracy Grating Couplers Integrated with SU-8 Waveguides for Wireless and Fibreless Optogenetic UCNP Neural Probes

〇Keigo Kitta¹, Kazushi Tsuji¹, Naoki Iwanuma², Ichiha Nakamura³, Takafumi Fukushima^1,2, Tetsu Tanaka^1,2 (1.Grad. Sch. of Biomed. Eng., Tohoku Univ., 2.Grad. Sch. of Eng., Tohoku Univ., 3.Sch. of Eng., Tohoku Univ.)

Keywords:

neural probe,optogenetics,UCNPs

光遺伝学用神経プローブの低侵襲化に向けて，ナノグレーティングカプラ（GC）を集積したワイヤレス・ファイバレス光遺伝学神経プローブを提案する。本研究では，熱ナノインプリントと表面マスク露光を組み合わせたSU-8導波路一体型GCの作製プロセスを開発し，熱工程に起因する寸法変形の影響を評価した。プリベーク時間およびPEB温度の最適化により，GC寸法を高精度に制御可能であることを示した。