[8p-C309-1~16] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

4:15 PM - 4:30 PM JST(7:15 AM - 7:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8p-C309-9] Fabrication of a core-shell microneedle electrode array integrated on a flexible substrate

〇Ryusei Iwata¹, Takeshi Kawano¹, Naohiro Takahashi¹, Daisuke Akai¹, Koga Matsusita¹, Koji Yamashita¹ (1.Toyohashi Univ.)

Keywords:

microneedle electrode array,flexible substrate,core-shell electrode

本研究では、長期間安定した高品質なニューロン計測の実現に向け、差動計測による高い信号対雑音（SN）比のニューロン計測を可能とする薄膜フレキシブル基板集積型同軸（コアシェル）構造Siマイクロニードル電極アレイの製作を行った。VLS法により直径2 µm、長さ400 µmのSiニードルを成長させ、パリレン絶縁膜とAu/Ti層を交互に成膜することで、コア電極とシェル電極からなる同軸構造を実現した。