講演情報
[8p-C309-9]フレキシブル基板集積化コアシェル構造マイクロニードル電極アレイの製作
〇岩田 流聖1、河野 剛士1、高橋 尚大1、赤井 大輔1、松下 剛芽1、山下 幸司1 (1.豊橋技術科学大学)
キーワード：
マイクロニードル電極アレイ、フレキシブル基板、コアシェル電極
本研究では、長期間安定した高品質なニューロン計測の実現に向け、差動計測による高い信号対雑音（SN）比のニューロン計測を可能とする薄膜フレキシブル基板集積型同軸（コアシェル）構造Siマイクロニードル電極アレイの製作を行った。VLS法により直径2 µm、長さ400 µmのSiニードルを成長させ、パリレン絶縁膜とAu/Ti層を交互に成膜することで、コア電極とシェル電極からなる同軸構造を実現した。