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[8p-PB1-10]Production of RF hydrogen plasma using hybrid hollow electrode and magnets
〇(M1)Reo Matsushita1 (1.Saga Univ)
Keywords:
plasma
本研究では，中央円筒溝と外側リング溝を有するハイブリッドホロー電極に永久磁石を組み込み，低気圧下での高周波水素プラズマ生成を検討した。Poisson Superfishを用いて電磁界分布を解析し，電子ラーマ半径から電子輸送特性を評価した結果，ホロー電極近傍で電子ラーマ半径が減少し，電子閉じ込め効果による高密度水素プラズマ生成の可能性が示唆された。