Presentation Information
[8p-PB3-2]Investigation of ohmic electrodes of transfer-free graphene on sapphire substrates formed via metal agglomeration technique.
〇(M1)Ryota Matano1, Naoyuki Sasada1, Toshiharu Kubo1, Makoto Miyoshi1, Takuma Nanjo1, Takashi Egawa1 (1.Nagoya Inst.)
Keywords:
graphene,ohmic electrode
サファイア基板上に金属凝集法で直接形成した転写フリーグラフェンにおいて、4種類の金属を用いたオーミック電極の特性をTLM法で評価した報告です。すべての金属で良好なオーミック接触を確認しており 、グラフェンの極性に対する仕事関数の大小や界面での結合状態の違いによってコンタクト抵抗に差が生じました。