[8p-S5-1~9] 3.6 Laser processing

2:30 PM - 2:45 PM JST(5:30 AM - 5:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8p-S5-5] Wide-Angle Bessel TSL Processing for Ultrahigh-Speed Laser Processing of Alkali-Free Glass

〇Ryota Hasegawa¹, Sota Kiriake¹, Gouqi Ren¹, Akihiro Shibata², Io Hanaoka¹, Kosuke Shimakura¹, Yanming Zhang¹, Yusuke Ito¹ (1.Univ. Tokyo, 2.AGC inc.)

Keywords:

Ultrashort pulse laser,Laser processing,Through glass via

Bessel TSL加工法は透明材料への高速・高精度な高アスペクト比貫通孔加工を可能にするが，無アルカリガラスでは加工が不安定となる．本研究では，Pump-probe法と高速度カメラによる観察を通じて，無アルカリガラスでは表面プラズマに起因する電子励起領域の拡大がレーザ伝搬を阻害すると考察した．さらに，Besselビームの入射角を広角化してプラズマ領域を回避することで，無アルカリガラスへの高アスペクト比貫通孔の10 µsでの安定形成を実現した．