講演情報
[8p-S5-5]レーザ入射角の広角化による無アルカリガラスへの Bessel TSL 加工の実現
〇長谷川 亮太1、桐明 颯太1、任 国旗1、柴田 章広2、花岡 容生1、嶋倉 康介1、張 艶明1、伊藤 佑介1 (1.東大院工、2.AGC株式会社)
キーワード：
超短パルスレーザ、レーザ加工、TGV
Bessel TSL加工法は透明材料への高速・高精度な高アスペクト比貫通孔加工を可能にするが，無アルカリガラスでは加工が不安定となる．本研究では，Pump-probe法と高速度カメラによる観察を通じて，無アルカリガラスでは表面プラズマに起因する電子励起領域の拡大がレーザ伝搬を阻害すると考察した．さらに，Besselビームの入射角を広角化してプラズマ領域を回避することで，無アルカリガラスへの高アスペクト比貫通孔の10 µsでの安定形成を実現した．