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[8p-S5-8]Selective Shape Control of Femtosecond Laser-Induced Periodic Surface Structures on Tungsten for W-Cu Direct Bonding

〇Tsuyoshi Furukawa1, Tatsuki Inagaki1, Hiroyuki Noto2,3, Hiyori Uehara2,3, Reina Miyagawa1,2 (1.Nagoya Inst. Tech., 2.NIFS, 3.SOKENDAI)

Keywords:

femtosecond laser,LIPSS,surface structure

核融合炉ダイバータ等の高熱負荷機器への応用に向け,タングステン(W)と銅(Cu)の界面接合強度を向上させることを目的とする.接合界面の凹凸形状がもたらすアンカー効果に着目し,本研究では、材料損傷が少ないフェムト秒レーザーをW表面に照射し,ナノスケールのレーザー誘起周期表面構造(LIPSS)を形成した.照射条件の最適化により,LIPSSの形状(周期,深さ)を選択的に制御することに成功した.