Presentation Information
[9a-A11-7]Fabrication and Crystal Phase Control of VO2 Microstructures by Mist CVD
〇Ai Osaka1, Daiki Takayama1, Seiji Nakashima1, Hironori Fujisawa1 (1.Univ. of Hyogo)
Keywords:
Vanadium dioxide (VO2),Mist CVD,3D micro structure
VO₂は多様な結晶多形を有し、その結晶相や構造は成膜時の反応場に強く依存する。本研究ではミストCVD法におけるキャリアガス中の酸素量および成膜後アニール条件を変化させ、VO₂薄膜の結晶相および表面構造を評価した。酸素量の増加によって薄膜はB相VO₂からM1相VO₂およびV₂O₅を含む相へ変化し、表面形態も粒状からプレート状へ変化した。さらにアニールによる結晶相転移を確認し、反応場制御がVO₂の結晶相制御に有効であることを示した。