Presentation Information
[9a-A24-7]Study on Fabrication of Nb/Al STJ Detectors Using Chlorine-Based Gases
〇Rikuto Muto1,2, Go Fujii2, Tohru Taino1 (1.Saitama Univ., 2.AIST)
Keywords:
superconductor,Superconducting Tunnel Junction
Nb/Al型STJ検出器の作製ではウェットエッチングプロセスによりAl層のエッチングが行われてきた。しかし、ウェットエッチングプロセスはSTJの高密度配置の妨げとなることに加え、安定した高い歩留まりを実現できていない原因の一つとして考えられている。
本研究ではAl層のエッチングプロセスに着目し、従来のウェットエッチングからドライエッチングへ変更することでウェットエッチングプロセスが抱える課題の解決を目指した。
本研究ではAl層のエッチングプロセスに着目し、従来のウェットエッチングからドライエッチングへ変更することでウェットエッチングプロセスが抱える課題の解決を目指した。