講演情報
[9a-A24-7]塩素系ガスを用いたNb/Al型STJ検出器の作製に関する研究
〇武藤 陸斗1,2、藤井 剛2、田井野 徹1 (1.埼玉大院、2.産総研)
キーワード：
超伝導体、超伝導トンネル接合検出器
Nb/Al型STJ検出器の作製ではウェットエッチングプロセスによりAl層のエッチングが行われてきた。しかし、ウェットエッチングプロセスはSTJの高密度配置の妨げとなることに加え、安定した高い歩留まりを実現できていない原因の一つとして考えられている。
本研究ではAl層のエッチングプロセスに着目し、従来のウェットエッチングからドライエッチングへ変更することでウェットエッチングプロセスが抱える課題の解決を目指した。
本研究ではAl層のエッチングプロセスに着目し、従来のウェットエッチングからドライエッチングへ変更することでウェットエッチングプロセスが抱える課題の解決を目指した。