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9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9a-C213-4]High-sensitivity thermal sensing using SiN NEMS resonators for room-temperature terahertz detection

〇Yuto Amano¹, Akira Kojima¹, Nobuyoshi Koshida¹, Tokuji Yokomatsu², Kensuke Kanda², Ya Zhang¹ (1.Tokyo Univ. of Agri. &Techno., 2.Univ. of Hyogo)

NEMS,terahertz detector,silicon nitride

MEMS/NEMS共振器を用いたテラヘルツ（THz）検出器は、高感度、高速応答、小型化、ならびに室温動作が可能であることから、近年注目を集めている。本研究では、高感度THz検出への応用に向けてSiN両持ち梁型NEMS共振器を作製し、その熱センシング性能について報告する。