講演情報

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[9a-C213-4]室温テラヘルツ検出に向けたSiN NEMS共振器による高感度熱センシング

〇天野湧登¹、小島明¹、越田信義¹、横松得滋²、神田健介²、張亜¹ (1.農工大工、2.兵庫県大工)

NEMS、テラヘルツ検出器、シリコンナイトライド

MEMS/NEMS共振器を用いたテラヘルツ（THz）検出器は、高感度、高速応答、小型化、ならびに室温動作が可能であることから、近年注目を集めている。本研究では、高感度THz検出への応用に向けてSiN両持ち梁型NEMS共振器を作製し、その熱センシング性能について報告する。