[9a-C213-1~13] 3.8 Terahertz technologies

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9a-C213-6] Correction of Amplitude-Fluctuation-Induced Frequency Noise in Nonlinear Vibrations of MEMS Resonators

〇Hiroto Kato¹, Yuma Sato¹, Ya Zhang¹ (1.Tokyo Univ. of Agri. & Techno.)

Keywords:

MEMS,Nonlinear Dynamics,Terahertz detector

MEMS共振器の非線形振動において，振幅変動に由来する周波数雑音を振幅情報により補正した。50 mV駆動では振幅と周波数の相関が強く，約4 Hzで雑音を約22 dB低減できた。一方，高振幅では相関が弱まり補正効果は制限された。