[9a-C213-1~13] 3.8 テラヘルツ全般

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[9a-C213-6] MEMS共振器の非線形振動における振幅変動由来の周波数雑音補正

〇加藤 大翔¹、佐藤 優真¹、張 亜¹ (1.農工大工)

キーワード：

MEMS、非線形力学、テラヘルツ検出器

MEMS共振器の非線形振動において，振幅変動に由来する周波数雑音を振幅情報により補正した。50 mV駆動では振幅と周波数の相関が強く，約4 Hzで雑音を約22 dB低減できた。一方，高振幅では相関が弱まり補正効果は制限された。