[9a-C309-1~13] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

9:00 AM - 9:15 AM JST(12:00 AM - 12:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9a-C309-1] Fundamental Evaluation of the Relationship Between Electrode Gap in Sensing Membranes and Operational Characteristics of CMOS Odor Sensors

〇Yoshihiro Asada¹, Yoshiko Noda¹, Daisuke Akai¹, Takeshi Hizawa¹, Yasuyuki Kimura¹, Ik-Hyun Kwon¹, Yong-Joon Choi¹, Kazuhiro Takahashi¹, Kazuaki Sawada¹, Toshihiko Noda¹ (1.Toyohashi Univ. of Tech.)

Keywords:

Odor Sensor,Electrode Structure

嗅覚のデジタル化を目指すCMOSにおいセンサでは，多様な感応膜の電気特性差により同時読出しが困難となる。本研究では，感応膜応答を読み出す2電極間距離が特性曲線の立上り電圧に及ぼす影響を評価した。その結果，電極間距離の調整により立上り電圧を制御でき，異なる感応膜の応答を適切に取得するための電極設計指針を得た。