講演情報
[9a-C309-1]CMOSにおいセンサにおける感応膜の電極間距離と動作特性の基礎評価
〇浅田 吉博1、野田 佳子1、赤井 大輔1、飛沢 健1、木村 安行1、權 益賢1、崔 容俊1、高橋 一浩1、澤田 和明1、野田 俊彦1 (1.豊橋技科大)
キーワード：
においセンサ、電極構造
嗅覚のデジタル化を目指すCMOSにおいセンサでは，多様な感応膜の電気特性差により同時読出しが困難となる。本研究では，感応膜応答を読み出す2電極間距離が特性曲線の立上り電圧に及ぼす影響を評価した。その結果，電極間距離の調整により立上り電圧を制御でき，異なる感応膜の応答を適切に取得するための電極設計指針を得た。